저항률이 높은 단결정 실리콘 웨이퍼
직경: 단결정 실리콘 웨이퍼의 직경은 일반적으로 100mm에서 300mm입니다.두께: 단결정 실리콘 웨이퍼의 두께는 용도에 따라 다르지만 일반적인 두께는 100미크론에서 1밀리미터입니다.
설명
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단결정 실리콘은 고순도 반도체 소재로 전기적, 광학적 특성이 뛰어나 전자소자 제조, 태양전지 등 다양한 분야에 널리 사용되고 있다. 다음은 단결정 실리콘에 대한 기본 지식입니다.
기본 구조: 단결정 실리콘은 고순도 실리콘 원료로 만들어지며 완전한 결정 구조와 고도로 정렬된 원자 배열을 가지고 있습니다. 결정 구조는 다이아몬드 모양이며 각 실리콘 원자는 4개의 인접한 실리콘 원자로 둘러싸여 있어 단단한 격자 구조를 형성합니다.
준비 방법: 단결정 실리콘을 준비하려면 여러 단계가 필요하며 그 중 가장 중요한 단계는 결정 성장입니다. 현재 가장 많이 사용되는 방법은 초크랄스키(Czochralski) 방법으로, 용융된 실리콘에 소량의 도펀트를 첨가하여 결정봉을 끌어당겨 단결정 실리콘을 성장시키는 방법이다.
사양
|
재료 |
규소 |
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지름 |
150mm |
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도펀트 |
붕소 |
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정위 |
100 |
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두께 |
675±25um |
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비저항 |
>8000 옴.cm |
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표면 |
우아한 |
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뒷면 |
우아한 |
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보우/워프 |
<40um |
|
TTV |
<10um |
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